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S500高精度氣體質量流量控制器

簡要描述╃••╃╃:

S500高精度氣體質量流量控制器,高精度氣體質量流量計
1.高精度
2.快速響應
3.自動調零
4.任意角度安裝

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S500高精度氣體質量流量控制器,高精度氣體質量流量計

 


1.高精度 
2.快速響應 
3.自動調零 
4.任意角度安裝

S500高精度氣體質量流量控制器,高精度氣體質量流量計技術引數╃••╃╃:

1.產品規格

專案S500 (規格Type AR111)
外部密封氟橡膠
接觸氣體材料SUS316L,氟橡膠,磁性不鏽鋼
調節閥型別非通電時常閉
滿量程流量(N2換算流量)10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min
1,2,3,5,10,20,30 L/min
流量控制範圍2%~99%F.S. (0.1~5V DC)
流量測量範圍0~99%F.S. (0~5V DC)
響應時間(輸出電壓) 1秒 (保證 1.5秒以內T98)   
工作環境溫度5~45℃ (精度保證 15~35℃)
流量精度±1.0%F.S
線性±0.5%F.S.
重複性±0.2%F.S.
工作壓差10mL/min~5L/min :50~300kPa(d)
10L/min~30L/min :100~300kPa(d)
zui大工作(使用)壓力300kPa(G)
耐壓3MPa(G)
洩漏率1×10-8Pa・m3/s(He)以下
流量設定訊號0.1~5VDC(2%~99%F.S.)
流量輸出訊號0~5VDC(0%~99%F.S.)
供電電源+15V±5% 100mA以下
-15V±5% 150mA以下
管路接頭1/4inch HM-SWL☁↟₪₪、1/4inch SWL☁↟₪₪、φ6mm HM-SWL☁↟₪₪、1/4inch VCR
安裝角度任意
電氣接頭D-Sub 15pin
輸入輸出阻抗輸入╃••╃╃:1MΩ以上  輸出╃••╃╃:3mA以下
附加功能Auto-zero☁↟₪₪、Auto-close

**滿量程流量50mL/min一下的響應時間為2S以內

 

2. ,高精度氣體質量流量計外形尺寸


3.電氣介面

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