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S48 300/HMT聯動控制高精度數字式氣體質量流量控制器

簡要描述☁☁│:

S48 300/HMT聯動控制高精度數字式氣體質量流量控制器
1.數字式氣體質量流量控制器
2.高精度
3.Z多可實現16臺聯動控制氣體質量流量控制器

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S48 300/HMT聯動控制高精度數字式氣體質量流量控制器

1.數字式氣體質量流量控制器
2.高精度
3.zui多可實現16臺聯動控制

 

S48 300/HMT聯動控制高精度數字式氣體質量流量控制器特點☁☁│:

  • 高精度
  • 良好的線性
  • 快速的響應
  • 對零點漂移有效的抑制
  • 電磁閥使用壽命≥100萬次
  • 化的零配件供應——感測器│╃╃·、分流器│╃╃·、精密電阻等關鍵部件日本進口
  • 通訊介面優勢
  • 多臺控制器可以同時執行

技術引數☁☁│:

編號專案S48 300/HMT
1流量規格 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(1,2,3,,5,10│▩,20,30,50)L/min
2調節閥型別電磁調節閥
3調節閥靜止狀態常閉
4安裝角度任意
5流量控制範圍2%~99%
6準確度±1.0% S.P.(≥30% F.S.)
±0.30% F.S.(<30% F.S.)
7線性±0.5% F.S.
8重複精度±0.2% F.S.
9響應時間 ≤1s
10工作壓差範圍(0.05~0.3)MPa(<10L/min):
(0.1~0.3)MPa(10~50)L/min;
 (0.15~0.3)MPa 50L/min
                
11耐壓 ±3MPa
12工作環境溫度55℃~50℃
13精度保證溫度15℃~35℃
14接觸氣體材料316L,PTFE,Viton或其他
15漏率<1×10-8 Pa•m3/s 
16接頭Swagelok:Φ6mm,1/4″ 
VCR:1/4″或其他
17輸入訊號 數字☁☁│:RS232/RS485
 模擬☁☁│:(0~+5.00)V│▩,輸入阻抗>100KΩ

VCR:1/4″3/8″
18輸出訊號 數字☁☁│:RS232/RS485
 模擬☁☁│:(0~+5.00)V│▩,負載能力≤3mA

 
19通訊介面數字☁☁│:RS232/RS485  波特率☁☁│:4800/9600/19200Bps
協議叢機   裝置號可選範圍☁☁│:0~15

 
20供電電源±15V(±5%)
(+15V│▩,150mA;-15V,200mA)
21重量 0.9

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