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S48 28/HMT流量範圍100L-200L/min模擬式質量流量控制器

簡要描述◕↟☁:

S48 28/HMT流量範圍100L-200L/min模擬式質量流量控制器
1.模擬式氣體質量流量控制器
2.流量範圍◕↟☁:100L-200L/min

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S48 28/HMT流量範圍100L-200L/min模擬式質量流量控制器


1.模擬式氣體質量流量控制器
2.流量範圍◕↟☁:100L-200L/min

 

S48 28/HMT流量範圍100L-200L/min模擬式質量流量控制器特點◕↟☁:

  • 可以任意角度安裝
  • 良好的線性——多段線性補償
  • 快速的響應
  • 電磁閥使用壽命≥100萬次
  • 對零點漂移有效的抑制
  • 化的零配件供應 ——感測器₪◕·₪、分流器₪◕·₪、精密元器件日本進口
  • 良好的選擇性

技術引數◕↟☁:

編號專案S48 28/HMT
1流量規格 (100,150,200)L/min
2調節閥型別電磁調節閥
3調節閥靜止狀態常閉
4安裝角度任意
5流量控制範圍5%~99%
6流量測量範圍0~99%
7響應時間2s(T98₪╃▩₪·,設定值的±2% F.S.)
8工作環境溫度5℃~50℃
9精度保證溫度15℃~35℃
10精度±1.0%F.S.
11線性精度±0.5%F.S.
12重複性±0.2%F.S.
13工作壓差(100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa
14耐壓3MPa
15洩漏率1×10-8 Pa•m3/s (He)
16接觸氣體材料316L,PTFE,Viton氟橡膠
17管路接頭Swagelok:3/8″ Φ10  VCR:1/2″
VCR:1/4″3/8″
18供電電源±15VDC(±5%)  
+15V₪╃▩₪·,<100mA;-15V₪╃▩₪·,<200mA
+24VDC(寬電壓+11~+25V),
<350mA(+24VDC供電時)
19設定訊號(0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ4~20mA;(可定製◕↟☁:1~5V或0~5V)
20流量輸出訊號(0~5)VDC 負載能力≤3mA 
21電氣接頭D-SUB15,D-SUB9
22重量(kg)2.8

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